第一步是测量。先选择一个测量基面，按这个基面测出被测各点相对于此基面的距离。这一步实际上是获得原始数据的过程。

第二步是评定。按平面度误差值的评定原则确定评定基面的具体方位，并以此获得被测平板平面度误差值的大小，这一步是对获得的数据进行平面度误差值的评定。

第三步是测量不确定度评估。准确度要求高的平板测量，对测量结果进行准确度分析，获得测量不确定度。

对于简易测量法，第一，二步是合并进行的，在保证测量不确定度前提下，第三步可省略。